Untersuchungen zur ultraschnellen Ellipsometrie von Laserprozessen
- Diese Arbeit stellt die Konstruktion, den Aufbau und die Kalibrierung eines automatisierten Pump-Probe-Aufbaus dar, mit dem örtlich, zeitlich und spektroskopisch aufgelöste Pump-Probe-Reflektometrie und -Ellipsometrie möglich ist. Zur Validierung werden die Ergebnisse des Pump-Probe-Ellipsometers für Brechzahl, Extinktionskoeffizient und Schichtdicke eines Materials bei Raumtemperatur mit den Ergebnissen eines kommerziellen Ellipsometers verglichen. ErsteMessungen der Pump-Probe-Reflektometrie und -Ellipsometrie werden durchgeführt und die Ergebnisse diskutiert.
Download full text files
Additional Services
Statistics
| Author: | Theo Pflug |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-100328 |
| Advisor: | Alexander Horn, Markus Olbrich |
| Document Type: | Master's Thesis |
| Language: | German |
| Year of Completion: | 2017 |
| Granting Institution: | Hochschule Mittweida |
| Release Date: | 2019/01/21 |
| GND Keyword: | Ellipsometrie |
| Institutes: | Ingenieurwissenschaften |
| DDC classes: | 620.11295 Ellipsometrie |
| Open Access: | Frei zugänglich |
| Licence (German): |  Urheberrechtlich geschützt |
