Polysilizium-Heaterstrukturen für den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlässigkeitstests auf Waferebene
Polysilicon heaterstructures for use in highly accelerated reliability testing at wafer level
- nicht vorhanden
Author: | David Weinberger |
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URN: | urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-19743 |
Document Type: | Bachelor Thesis |
Language: | German |
Date of Publication (online): | 2012/04/17 |
Publishing Institution: | Hochschule Mittweida |
Release Date: | 2012/04/17 |
GND Keyword: | Elektronisches Bauelement; Wafer; Zuverlässigkeitstheorie |
Institutes: | 01 Elektro- und Informationstechnik |
DDC classes: | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Open Access: | Frei zugänglich |
Licence (German): | Urheberrechtlich geschützt |