Untersuchungen zur Erzeugung von optischen Bauelementen bestehend aus dielektrischen Materialien für die VUV-Laserbearbeitung mittels Femtosekunden Laserstrahlung
Investigations on the fabrication of optical components consisting of dielectric materials for VUV laser processing by femtosecond laser radiation
- In dieser Arbeit wird das Abtragsverhalten und die Strukturierbarkeit von Dielektrischen Materialien hoher Bandlücke unter Verwendung von ultrakurz gepulster Laserstrahlung im Nahinfraroten Wellenlängenbereich untersucht. Anschließend werden Strukturen erzeugt, als Maske eingesetzt und getestet.
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| Author: | Fabian Knebel |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-100019 |
| Advisor: | Steffen Weißmantel, Manuel Pfeiffer |
| Document Type: | Bachelor Thesis |
| Language: | German |
| Year of Completion: | 2018 |
| Granting Institution: | Hochschule Mittweida |
| Release Date: | 2019/01/15 |
| GND Keyword: | Optisches Bauelement; Ultrakurzzeitlaser |
| Institutes: | Ingenieurwissenschaften |
| DDC classes: | 621.366 Laser, Lasertechnologie |
| Open Access: | Frei zugänglich |
| Licence (German): |  Urheberrechtlich geschützt |
