Robert Nowak

• Ziel der Diplomarbeit ist es, eine Sammlung von Mathematica Softwaretools für die Datenkonversion von GDSII Layoutdaten zu implementieren.GDSII ist ein Standard Layout Format der Halbleiterindustrie. Mathematica ist ein hoch entwickeltes Softwaresystem welches die Entwicklung nahezu beliebiger Softwareanwendungen ermöglicht. Die Arbeit erläutert zunächst das GDSII-Datenformat. Danach folgt eine Einführung in das Mathematica Softwaresystem und in die Mathematica Programmierung. Weitere Kapitel beschäftigen sich mit der Implementierung der Tools. Schließlich folgt ein Kapitel mit einer Demonstration der entwickelten Tools.