Mikrostrukturierung mittels KrF-Excimerlaser
- Im Rahmen der Diplomarbeit wurden Grundlagenuntersuchungen zur Lasermikrobearbeitung des Kunststoffs TOPAS, des Borosilikatglases D 263 T und des Werkzeugstahls der Werkststoffnummer 1.2365 durchgeführt, um deren prinzipielle Bearbeitbarkeit mittels KrF-Excimerlaser zu bestimmen. Desweiteren wurden Versuche zur Erzeugung von Gitterstrukturen in Tantalfolie und Edelstahlfolie der Werkstoffnummer 1.4301 unternommen. Ziel dieser Versuche war vorrangig die Erzeugung kleinstmöglicher Stegbreiten.
Author: | Stefan Gronau |
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URN: | urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-2927 |
Advisor: | Weißmantel, Böttcher |
Document Type: | Diploma Thesis |
Language: | German |
Date of Publication (online): | 2010/04/12 |
Release Date: | 2010/04/12 |
GND Keyword: | Mikrostruktur; Excimerlaser |
Institutes: | 03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik |
DDC classes: | 530 Physik |
Open Access: | Frei zugänglich |
Licence (German): | Urheberrechtlich geschützt |