Ermittlung und Optimierung von elektrischen, geometrischen und technologischen Parametern der ION´X Planar Magnetron Sputtering Cathode IX5 91xx in der Laborzerstäubungsanlage MSBA-400 für Aluminium, Silizium und Siliziumdioxid
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Author: | Silvio Nerger |
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URN: | urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-25396 |
Advisor: | Steffen Weißmantel, Harald Pötzsch |
Document Type: | Diploma Thesis |
Language: | German |
Date of Publication (online): | 2012/12/17 |
Release Date: | 2012/12/17 |
GND Keyword: | Sputtern |
Institutes: | 03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik |
DDC classes: | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Open Access: | Innerhalb der Hochschule |
Licence (German): | Urheberrechtlich geschützt |