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Untersuchen und Simulieren der Eigenschaften von mittels PLD, bei rotierendem Substrat hergestellten ta-C-Schichten

Investigation and simulation of the properties of taC-coatings, produced by PLD using a rotating substrat

  • Diese Arbeit beinhaltet eine detaillierte Dokumentation für eine Simulation zum Ermitteln der Schichtddickenverteilung von mittels PLD hergestellten Kohlenstoffschichten. Des Weiteren wurden im Ramen dieser Arbeit Versuche zum Herstellen von ta-C-Schichten bei rotierendem Substrat durchgeführt und dabei speziell der Einfluss von mit der Rotationsgeschwindigkeit verbundenen Subplantationseffekten untersucht.

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Metadaten
Author:Sebastian Voigt
Advisor:Steffen Weißmantel, Rene Bertram
Document Type:Master's Thesis
Language:German
Year of Completion:2019
Granting Institution:Hochschule Mittweida
Release Date:2021/06/05
GND Keyword:Schichtdicke; Kohlenstoff; Dünne Schicht
Institutes:Ingenieurwissenschaften
DDC classes:667.9 Beschichten
Open Access:Innerhalb der Hochschule
Licence (German):License LogoUrheberrechtlich geschützt