Untersuchen und Simulieren der Eigenschaften von mittels PLD, bei rotierendem Substrat hergestellten ta-C-Schichten
Investigation and simulation of the properties of taC-coatings, produced by PLD using a rotating substrat
- Diese Arbeit beinhaltet eine detaillierte Dokumentation für eine Simulation zum Ermitteln der Schichtddickenverteilung von mittels PLD hergestellten Kohlenstoffschichten. Des Weiteren wurden im Ramen dieser Arbeit Versuche zum Herstellen von ta-C-Schichten bei rotierendem Substrat durchgeführt und dabei speziell der Einfluss von mit der Rotationsgeschwindigkeit verbundenen Subplantationseffekten untersucht.
Author: | Sebastian Voigt |
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Advisor: | Steffen Weißmantel, Rene Bertram |
Document Type: | Master's Thesis |
Language: | German |
Year of Completion: | 2019 |
Granting Institution: | Hochschule Mittweida |
Release Date: | 2021/06/05 |
GND Keyword: | Schichtdicke; Kohlenstoff; Dünne Schicht |
Institutes: | Ingenieurwissenschaften |
DDC classes: | 667.9 Beschichten |
Open Access: | Innerhalb der Hochschule |
Licence (German): | Urheberrechtlich geschützt |