Untersuchung und Erzeugung ultranano- und nanokristalliner Diamantschichten mittels Laser- Puls-Abscheidung in Wasserstoff- und Sauerstoffatmosphäre
Investigation and growth from ultranano and nanocrystalline diamond films by laser pulsedepostion in hydrogen und oxygen atmosphere
- Der vorliegende Bericht befasst sich mit der Erzeugung und der Entwicklung von ultranano- bzw. nanokristalliner Diamantschichten mittels Puls-Laser-Abscheidung unter Verwendung der Prozessgase Sauerstoff und Wasserstoff. Der Laserstrahl trifft während des Prozesses auf ein Graphittarget wodurch Kohlenstoffatome ablatiert werden. Ablatierte Ione werden je nach Hybridisierung durch die Prozessgase geätzt oder auf dem Substrat abgeschieden. Die Charakterisierung der erzeugten Schichten erfolgte mittels Oberflächenmorphologie und Raman-Spektren. Damit lassen die abgeschiedenen Kohlenstoffmodifikationen unterscheiden, was zur Eingrenzung des Parameterfensters führt in denen sich ultrananokristalliner Diamantschichten erzeugen lassen. Speziell das Verändern der Kristallitgröße der Diamantpartikel durch die Verwendung eines Filamentes die Benutzung von NCD und MCD Haftschichtenschichten, die Verwendung einer nanokristallinen Diamantsuspension und der Änderung der Teilchendichte soll dadurch beeinflusst werden.
Author: | David Haldan |
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URN: | urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-55128 |
Document Type: | Master's Thesis |
Language: | German |
Year of Completion: | 2014 |
Date of first Publication: | 2015/09/01 |
Granting Institution: | Hochschule Mittweida |
Release Date: | 2015/09/01 |
GND Keyword: | Laserimpuls , Laserbeschichten , Impulslaserbeschichten , Nanostruktur , Diamant , Dünne Schicht |
Institutes: | 03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik |
DDC classes: | 539 Moderne Physik |
Open Access: | Frei zugänglich |
Licence (German): | Urheberrechtlich geschützt |