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Maskenentwurf parametrisierbarer optoelektronischer Bauelemente einschließlich Entwurfsregelprüfung

Masks design of parametrisable optoelectronic components including design rule check

  • In diesem Projekt wird die Erstellung eines Satzes lithographischer Masken für die Halbleiterbearbeitung behandelt. Als Basis dient ein gut verstandenes Bauelement aus dem Bereich der Optoelektronik, eine Fotodiode. Diese wird im Rahmen des Diplomprojektes parametrisierbar entwickelt und entworfen sowie programmiert. Der Entwurf wird dann auf der Grundlage zu definierender Regeln einer Entwurfsregelprüfung unterzogen. Ziel dieser Arbeit ist es, die technologischen sowie funktionalen Regeln im Programm abzubilden.

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Metadaten
Author:Oliver Abdeen
URN:urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-86101
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Year of Completion:2017
Granting Institution:Hochschule Mittweida
Release Date:2018/05/16
GND Keyword:Photodiode , Optoelektronisches Bauelement
Institutes:Angewandte Computer‐ und Bio­wissen­schaften
Dewey Decimal Classification:621.38152 Halbleitertechnologie, Dünnschichttechnik
Access Rights:Frei zugänglich
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG