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Untersuchung zur laserinduzierten Erzeugung von Kavitäten in Silizium

Research on laser-induced production of cavities in silicon

  • Die vorliegende Bachelorarbeit befasst sich mit der Analyse von laserinduzierten Kavitäten in Silizium. Die Bearbeitung erfolgt mittels einem Faserlaser mit einer Wellenlänge von 1064 nm. Dabei werden modifizierte Bereiche durch Einzel-pulse unter Variation der Pulsenergie, Pulsdauer und Pulsabstand im Inneren von Siliziumproben erzeugt. Untersuchungsziel ist es Schwellwerte zu ermitteln, wo eine Dichteumformung bis hin zur Erzeugung von Kavitäten ohne innerliche und äußerliche Beschädigung des Siliziumwafers stattfindet.

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Metadaten
Author:Jana Nissel
Document Type:Bachelor Thesis
Language:German
Year of Completion:2016
Granting Institution:Hochschule Mittweida
Release Date:2018/11/29
GND Keyword:Silicium; Wafer; Laserstrahlung
Institutes:Ingenieurwissenschaften
Open Access:Innerhalb der Hochschule
Licence (German):License LogoUrheberrechtlich geschützt