- search hit 1 of 1
Laserpulsabscheidung von metallischen Schichtstapeln für spintronische Anwendungen
- In dieser Arbeit werden die Ergebnisse von grundlegenden Untersuchungen zur Erzeugung von metallischen Schichten und Nanometerschichtstapeln mittels Laserpulsabscheidungsverfahren (PLD) vorgestellt. Für die Erzeugung des schichtbildenden Teilchenstromes durch Ablation der Festkörpertargets wurde ein KrF-Excimerlaser mit einer Wellenlänge von 248 nm verwendet. Durch Variation der Abscheidungsparameter Laserpulsfluenz und Laserstrahlquerschnitt wurden die Oberflächeneigenschaften von dünnen Metallschichten für die Erzeugung von spintronischen Schichtstapeln optimiert. Die Abhängigkeit der materialspezifischen Schichteigenschaften Abtragsrate pro Laserpuls, Schichtaufwachsrate, Oberflächenrauigkeit, Partikulatflächendichte, Schichtdickenverteilung, Schichtdickenhomogenität und Mikrostruktur von den Abscheidungsparametern werden vorgestellt. Unter Nutzung der optimierten Prozessparameter konnten spintronische Metallschichtstapel hergestellt werden. Für die Verbesserung der Schichtdickenhomogenität von laserpulsablatierten Schichten wurde ein xy-Substrat-bewegungssystem konzipiert und dessen technische Realisierung verwirklicht.
Author: | Johannes Maus |
---|---|
Document Type: | Master's Thesis |
Language: | German |
Year of Completion: | 2013 |
Granting Institution: | Hochschule Mittweida |
Release Date: | 2016/01/21 |
GND Keyword: | Metallschicht , Laserimpuls , Abscheidung |
Institutes: | 03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik |
DDC classes: | 671 Metallverarbeitung und Rohprodukte aus Metall |
Open Access: | Innerhalb der Hochschule |
Licence (German): | Urheberrechtlich geschützt |