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Mikrostrukturierung mittels KrF-Excimerlaser

  • Im Rahmen der Diplomarbeit wurden Grundlagenuntersuchungen zur Lasermikrobearbeitung des Kunststoffs TOPAS, des Borosilikatglases D 263 T und des Werkzeugstahls der Werkststoffnummer 1.2365 durchgeführt, um deren prinzipielle Bearbeitbarkeit mittels KrF-Excimerlaser zu bestimmen. Desweiteren wurden Versuche zur Erzeugung von Gitterstrukturen in Tantalfolie und Edelstahlfolie der Werkstoffnummer 1.4301 unternommen. Ziel dieser Versuche war vorrangig die Erzeugung kleinstmöglicher Stegbreiten.

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Metadaten
Author:Stefan Gronau
URN:urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-2927
Advisor: Weißmantel, Böttcher
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Date of Publication (online):2010/04/12
Release Date:2010/04/12
GND Keyword:Mikrostruktur; Excimerlaser
Institutes:03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik
DDC classes:530 Physik
Open Access:Frei zugänglich
Licence (German):License LogoUrheberrechtlich geschützt