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Ermittlung und Optimierung von elektrischen, geometrischen und technologischen Parametern der ION´X Planar Magnetron Sputtering Cathode IX5 91xx in der Laborzerstäubungsanlage MSBA-400 für Aluminium, Silizium und Siliziumdioxid
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| Author: | Silvio Nerger |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-25396 |
| Advisor: | Steffen Weißmantel, Harald Pötzsch |
| Document Type: | Diploma Thesis |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2012/12/17 |
| Release Date: | 2012/12/17 |
| GND Keyword: | Sputtern |
| Institutes: | 03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik |
| DDC classes: | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Open Access: | Innerhalb der Hochschule |
| Licence (German): |  Urheberrechtlich geschützt |
