Laserpulsabscheidung und Charakterisierung von superharten amorphen Kohlenstoffschichten unter Variation einflussnehmender Prozessparameter
Pulsed laser deposition of superhard amorphous carbon thin films dependent on a variation of influencing parameters
- Im Rahmen der Masterarbeit wurden Beschichtungsversuche zur Erzeugung von superharten Kohlenstoffschichten, unter Variation einflussnehmender Prozessparameter durchgeführt, um den Einfluss dieser auf das Beschichtungsergebnis zu evaluieren. Die Experimente wurden mit einem Eximerlaser der Firma Coherent durchgeführt. Es wurden Kohlenstoffschichten erzeugt und anschließend mit verschiedenen Analysemethoden charakterisiert, um Erkenntnisse hin-sichtlich der Schichtzusammensetzung zu gewinnen. Im Vordergrund standen hierbei die Schichthärte, sowie die Ergebnisse aus den resultierenden Ramanspektren der Schichten, um Zusammenhänge zwischen den variierten Prozessparametern und resultierenden Schichtcharakteristika aufzuzeigen.
Author: | Marcel Wolf |
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Advisor: | Steffen Weißmantel, Hagen Grüttner |
Document Type: | Master's Thesis |
Language: | German |
Year of Completion: | 2018 |
Granting Institution: | Hochschule Mittweida |
Release Date: | 2019/11/28 |
GND Keyword: | Kohlenstoff; Beschichtung; Impulslaserbeschichten |
Institutes: | Ingenieurwissenschaften |
DDC classes: | 671.735 Impulslaserbeschichten |
Open Access: | Frei zugänglich |
Licence (German): | Urheberrechtlich geschützt |