Polysilizium-Heaterstrukturen für den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlässigkeitstests auf Waferebene
Polysilicon heaterstructures for use in highly accelerated reliability testing at wafer level
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Bachelorarbeit
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| Author: | David Weinberger |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-19743 |
| Document Type: | Bachelor Thesis |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2012/04/17 |
| Publishing Institution: | Hochschule Mittweida |
| Release Date: | 2012/04/17 |
| GND Keyword: | Elektronisches Bauelement; Wafer; Zuverlässigkeitstheorie |
| Institutes: | 01 Elektro- und Informationstechnik |
| DDC classes: | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Open Access: | Frei zugänglich |
| Licence (German): |  Urheberrechtlich geschützt |
