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Validierung neuartiger Lasermessverfahren zur Prozesskontrolle bei der Lasermikrobearbeitung anhand lasergefertigter Teststrukturen

  • Ziel der Diplomarbeit ist es, mittels kurzen und ultrakurzen Laserpulsen Mikrostrukturen zu erzeugen. Anhand der erzeugten Strukturen sollen zwei verschiedene Laserwegmesssensoren validiert werden und auf ihre Eignung zur Prozesskontrolle in der Mikromaterialbearbeitung hin untersucht werden.

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Metadaten
Author:Lutz Schneider
URN:urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-5059
Advisor:Horst Exner, Jörg Schille
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Date of Publication (online):2010/07/08
Release Date:2010/07/08
GND Keyword:Mikrostruktur; Laserbearbeitung
Institutes:03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik
DDC classes:620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Open Access:Frei zugänglich
Licence (German):License LogoUrheberrechtlich geschützt