DOE Methodenmatrix und Prozessmodell im Bereich der Prozessentwicklungs-abteilung eines Bestückungsautomatenherstellers in der Halbleiterindustrie
DOE matrix of methods and process model for Process Development department for placement equipment in the semiconductor industry
- Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Vorstellung von statistischen Versuchsplänen und deren Einteilung in Vorzugstypen anhand einer Methodenmatrix für die „Process Development“-Gruppe der Besi Austria GmbH. Das Hauptziel ist die Erstellung der Matrix und einer Methodenempfehlung für die ersten Schritte der Dünn-Die Evaluierung anhand des Slider-Tools. Im Weiteren wird auf eine mögliche Prozessintegration zur Implementierung der statistischen Versuchsmethodik verwiesen. Neben der Vorstellung der Grundlagen zur statistischen Versuchsplanung und einzelner statistischer Versuchspläne, wird auf den Die-Bond-Prozess, dem Ausstechprozess im Speziellen bei Dünn-Die Anwendungen und auf das Slider-Tool eingegangen.
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Diplomarbeit
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| Author: | Stefan Hübsch |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-47092 |
| Document Type: | Diploma Thesis |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2015/01/14 |
| Release Date: | 2015/01/14 |
| GND Keyword: | Versuchsplanung |
| Institutes: | 02 Maschinenbau |
| DDC classes: | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Open Access: | Innerhalb der Hochschule |
| Licence (German): |  Urheberrechtlich geschützt |
