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Untersuchungen zum rückseitigen Abtrag dünner Aluminiumschichten auf Quarzglas mittels ultrakurz gepulster Laserstrahlung

Investigation of backside ablation of thin aluminium films on fused silica with ultrashort pulsed laser radiation

  • Die vorliegende Arbeit befasst sich mit dem selektiven rückseitigen Abtrag von dünnen Aluminiumschichten (10 – 50 nm) auf Quarzglas mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung der Wellenlänge von 1028 nm und Pulsdauern von 0,2 – 10 ps. Die Einflüsse von Prozess- und Probenparametern auf die Abtragsschwellen und Inkubationskoeffizienten werden bestimmt. Ebenso wird ein Vergleich von Schwellfluenz und Inkubationskoeffizienten zwischen vorder- und rückseitigem Abtrag gegeben. Hierfür werden die Werte des vorderseitigen Abtrag aus vorhergehenden Untersuchungen verwendet. Neben experimentellen Untersuchungen werden Berechnungen zur Bestimmung der theoretischen Schwellfluenzen durchgeführt. Mithilfe dieser Untersuchungen soll die Qualität der Strukturierung von Aluminiumschichten verbessert werden.

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Metadaten
Author:Tina Viertel
URN:urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-107372
Advisor:Horst Exner, Linda Pabst
Document Type:Master's Thesis
Language:German
Year of Completion:2018
Granting Institution:Hochschule Mittweida
Release Date:2019/08/01
GND Keyword:Dünne Schicht; Ultrakurzzeitlaser; Laserablation; Aluminium
Institutes:Ingenieurwissenschaften
DDC classes:621.366 Laser, Lasertechnologie
Open Access:Frei zugänglich
Licence (German):License LogoUrheberrechtlich geschützt