Susann Hahn

• An der TU Chemnitz werden seit einigen Jahren mikromechanische Drehratesensoren entwickelt. Bisher bestand die Aufgabe weitgehend nur in der Technologieentwicklung für Partnerfirmen. Ziel dieser Diplomarbeit ist die Entwicklung eines neuartigen in der Waferebene messenden Drehratesensors, welcher mit hoher Genauigkeit arbeitet. Zur Durchführung gehört um einen die Modellierung und Simulation der Sensorstruktur mit Hilfe des finiten Elemente Programms ANSYS und den Maskenentwurf mit Hilfe von Layout Editor, und zum anderen die technologische Prozessierung und Bewertung.
• At the TU Chemnitz micro mechanical gyroscopes will be developed since a few years. Till now, the task only consisted in the technology development for partner companies. The aim of this master thesis is the modelling, simulation and production of a new gyroscope, which is measuring in-plane and works with high precision. On the one hand, this contains the modelling and simulation of the sensor structures with the help of the finite elements program ANSYS and the mask design with Layout Editor and on the other hand the technological production and assessment