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Abscheidung von Aluminiumoxid in einer PVD-Anlage zur Verbesserung des Korrosionsschutzes eines gegebenen Schichtsystems

  • Ziel dieser Arbeit ist es, ein Verfahren zur Abscheidung einer Metalloxidschicht zu entwickeln. Dadurch soll ein bestehendes Schichtsystem hinsichtlich seiner chemischen Belastbarkeit und besonders seiner Korrosionsbeständigkeit eine Verbesserung erfahren. Besonderes Augenmerk wird in dieser Arbeit darauf gelegt, dass die Abscheidung aus der Dampfphase bzw. unter Verwendung eines Sauerstoffplasmas erfolgen soll und der Anspruch als umweltfreundliches Verfahren erfüllt wird. Unter Berücksichtigung dieser Tatsachen wird zunächst das bestehende Schichtsystem analysiert. Danach werden Abscheidungsmöglichkeiten einer Metalloxidschicht aufgezeigt. Zum Schluss erfolgt die Beschreibung und Auswertung der Abscheidungsmethoden.

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    Bachelorarbeit

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Metadaten
Author:Ronny Stülpner
URN:urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-8031
Document Type:Bachelor Thesis
Language:German
Date of Publication (online):2010/10/20
Publishing Institution:Hochschule Mittweida
Release Date:2010/10/20
GND Keyword:Aluminiumoxide; Dünne Schicht; PVD-Verfahren
Institutes:02 Maschinenbau
Dewey Decimal Classification:660 Technische Chemie
Open Access:Innerhalb der Hochschule
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG