Laserpulsabscheidung (PLD) und Laserpulsspannungsrelaxation(PLS) von ta-C – Schichten und Untersuchung des Einflusses von Dotierungskonzentrationen auf die Schichteigenschaften
- Im Rahmen der Diplomarbeit wurden Untersuchungen der Einflüsse von unterschiedlichen Schichtdicken, des Beschichtungswinkels und der Dotierungspartner sowie des Dotierungsgrades auf die Schichteigenschaften von ta-C – Schichten durchgeführt. Als Dotierungspartner wurde Silber und Bor ausgewählt. Zur Herstellung der Schichten standen zwei KrF - Excimerlaser der Typen LPX Pro 305, davon einer mit stabilem und einer mit instabilem Resonator, der Firma COHERENT zur Verfügung. Im Vordergrund standen die Analysen der Partikulatdiche, der Oberflächenrauheit, die Untersuchung der Haftfestigkeit und der Härte, sowie die Bestimmung der Schichteigenspannungen. Ziel ist es superharte, verschleißfeste und spannungsfreie ta-C – Schichten herzustellen
Author: | Christin Schulze |
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URN: | urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-12549 |
Document Type: | Diploma Thesis |
Language: | German |
Date of Publication (online): | 2011/05/20 |
Release Date: | 2011/05/20 |
GND Keyword: | Laserbeschichten |
Institutes: | 03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik |
DDC classes: | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Open Access: | Frei zugänglich |
Licence (German): | Urheberrechtlich geschützt |