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Berechnung und Untersuchung von diffraktiven und refraktiven optischen Elementen zur Führung und Formung von Femtosekunden-Laserstrahlung im Zuge der Maskenprojektion

Computation and analysis of diffraktive and refraktive optical elements for guidance and shapeing of femtosecound-laserradiation in the course ofMaskprojection

  • In dieser Arbeit wird untersucht, inwiefern die Strahlformung von Femtosekundenlaserstrahlung im Zusammenhang mit der Maskenprojektion möglich ist. Es werden die etablierten Strahlformer anhand einheitlicher Kriterien untersucht und bewertet. Zusätzlich werden erste Abtragsversuche durchgeführt, bei denen verschiedene Strahlformer zur Beleuchtung der Maskenebene verwendet werden.

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Metadaten
Author:Alexander Kratsch
URN:urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-40949
Document Type:Master's Thesis
Language:German
Date of Publication (online):2014/05/30
Publishing Institution:Hochschule Mittweida
Release Date:2014/05/30
GND Keyword:Femtosekundenlaser; Strahlformung
Institutes:03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik
Dewey Decimal Classification:530 Physik
Open Access:Frei zugänglich
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG