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Glätten von Mikrostrukturen in Quarzglas mittels CO2-Laser

CO2 laser smoothing of microstructured fused silica

  • In der vorliegenden Arbeit wird untersucht, inwiefern eine Glättung einer mikrostrukturierten Quarzglasoberfläche durch die Verwendung von Laserstrahlung möglich ist. Es werden generelle Umsetzbarkeit, Grenzen des Verfahrens und die optimalen Parameter diskutiert. Das Ziel der Untersuchungen ist die Beseitigung der Bearbeitungsspuren, welche bei der Herstellung von diffraktiven optischen Elementen mittels Lasermikrostrukturierung entstehen

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Metadaten
Author:Alexander Kratsch
URN:urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-18500
Document Type:Bachelor Thesis
Language:German
Date of Publication (online):2012/03/12
Publishing Institution:Hochschule Mittweida
Release Date:2012/03/12
GND Keyword:Kohlendioxidlaser
Institutes:03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik
DDC classes:620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Open Access:Frei zugänglich
Licence (German):License LogoUrheberrechtlich geschützt