Validierung neuartiger Lasermessverfahren zur Prozesskontrolle bei der Lasermikrobearbeitung anhand lasergefertigter Teststrukturen
- Ziel der Diplomarbeit ist es, mittels kurzen und ultrakurzen Laserpulsen Mikrostrukturen zu erzeugen. Anhand der erzeugten Strukturen sollen zwei verschiedene Laserwegmesssensoren validiert werden und auf ihre Eignung zur Prozesskontrolle in der Mikromaterialbearbeitung hin untersucht werden.
Author: | Lutz Schneider |
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URN: | urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-5059 |
Advisor: | Horst Exner, Jörg Schille |
Document Type: | Diploma Thesis |
Language: | German |
Date of Publication (online): | 2010/07/08 |
Release Date: | 2010/07/08 |
GND Keyword: | Mikrostruktur; Laserbearbeitung |
Institutes: | 03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik |
DDC classes: | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Open Access: | Frei zugänglich |
Licence (German): | Urheberrechtlich geschützt |