Untersuchungen zur Mikrostrukturierung von spintronischen Nanometerschichtstapeln mittes UV-Laserstrahlung
- Die vorliegende Arbeit befasst sich mit Untersuchungen zur Laserstrukturierung von spintronischen Schichtstapeln. Die Strukturierung erfolgt dabei mittels UVLaserstrahlung einer Wellenlänge von 355 nm und einem direktschreibenden Verfahren. Um die notwenigen Laserfluenzen für die Strukturierung abzuschätzen werden Untersuchungen zur Abtragsschwelle des Schichtstapels gemacht. Es wurden die Einflüsse der Laserparameter auf die Bearbeitungsqualität und die erreichbaren Strukturbreiten experimentell untersucht. Die Laserstrukturierung soll die Funktionalität des spintionischen Schichtstapels nicht beeinflussen, das wurde durch eine Nano-Moke Messung überprüft.
Author: | Linda Pabst |
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URN: | urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-22495 |
Document Type: | Bachelor Thesis |
Language: | German |
Date of Publication (online): | 2012/06/13 |
Publishing Institution: | Hochschule Mittweida |
Release Date: | 2012/06/13 |
GND Keyword: | Laser; Laserbearbeitung |
Institutes: | 03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik |
DDC classes: | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Open Access: | Frei zugänglich |
Licence (German): | Urheberrechtlich geschützt |