OPUS


Polysilizium-Heaterstrukturen für den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlässigkeitstests auf Waferebene

Polysilicon heaterstructures for use in highly accelerated reliability testing at wafer level

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Metadaten
Author:David Weinberger
URN:urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-19743
Document Type:Bachelor Thesis
Language:German
Year of Completion:2011
Publishing Institution:Hochschule Mittweida
Release Date:2012/04/17
GND Keyword:Elektronisches Bauelement; Wafer; Zuverlässigkeitstheorie
Institutes:01 Elektro- und Informationstechnik
Access Rights:Frei zugänglich
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG

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