OPUS


Untersuchungen zur Mikrostrukturierung von spintronischen Nanometerschichtstapeln mittes UV-Laserstrahlung

  • Die vorliegende Arbeit befasst sich mit Untersuchungen zur Laserstrukturierung von spintronischen Schichtstapeln. Die Strukturierung erfolgt dabei mittels UVLaserstrahlung einer Wellenlänge von 355 nm und einem direktschreibenden Verfahren. Um die notwenigen Laserfluenzen für die Strukturierung abzuschätzen werden Untersuchungen zur Abtragsschwelle des Schichtstapels gemacht. Es wurden die Einflüsse der Laserparameter auf die Bearbeitungsqualität und die erreichbaren Strukturbreiten experimentell untersucht. Die Laserstrukturierung soll die Funktionalität des spintionischen Schichtstapels nicht beeinflussen, das wurde durch eine Nano-Moke Messung überprüft.

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Metadaten
Author:Linda Pabst
URN:urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-22495
Document Type:Bachelor Thesis
Language:German
Year of Completion:2011
Publishing Institution:Hochschule Mittweida
Release Date:2012/06/13
GND Keyword:Laser; Laserbearbeitung
Institutes:03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik
Access Rights:Frei zugänglich
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG

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