OPUS


Vergleich zweier Verfahren zur CO2-Laserglättung von Mikrostrukturen in Quarzglas

Comparison of two CO2-laser procedures for smoothing microstructures in fused silica

  • Die derzeit konventionellen Verfahren können für die Glättung von mikrooptischen Elementen nicht eingesetzt werden. Für das Material Quarzglas kann dies durch den Einsatz von CO2-Laserstrahlung realisiert werden. Durch das Erwärmen des Materials über die Erweichungstemperatur hinaus, wird an der Oberfläche eine dünne Schicht aufgeschmolzen und die Oberfläche zieht sich aufgrund der Oberflächenspannung glatt. Zum Glätten von Mikrostrukturen ist die Erwärmung einer größeren Fläche nötig, um eine möglichst homogene Temperaturverteilung zu realisieren und damit auch eine homogene Glättung. Die Glättung kann mit zwei Verfahren realisiert werden, einerseits durch den Einsatz einer Zylinderlinse und andererseits durch einen Scanner. Beide Verfahren liefern Ergebnisse die nur in sehr geringem Maße voneinander abweichen. Bezogen auf Prozesszuverlässigkeit ist das Scanner-Verfahren besser steuerbar, aber weitaus nicht so schnell wie das Zylinderlinsen-Verfahren.

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Metadaten
Author:Sebastian Büttner
URN:urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-37683
Document Type:Bachelor Thesis
Language:German
Year of Completion:2013
Publishing Institution:Hochschule Mittweida
Release Date:2014/03/24
GND Keyword:Glättung <Oberflächenbehandlung>; Kohlendioxidlaser
Institutes:03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik
Access Rights:Frei zugänglich
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG

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