Berechnung und Untersuchung von diffraktiven und refraktiven optischen Elementen zur Führung und Formung von Femtosekunden-Laserstrahlung im Zuge der Maskenprojektion
Computation and analysis of diffraktive and refraktive optical elements for guidance and shapeing of femtosecound-laserradiation in the course ofMaskprojection
- In dieser Arbeit wird untersucht, inwiefern die Strahlformung von Femtosekundenlaserstrahlung im Zusammenhang mit der Maskenprojektion möglich ist. Es werden die etablierten Strahlformer anhand einheitlicher Kriterien untersucht und bewertet. Zusätzlich werden erste Abtragsversuche durchgeführt, bei denen verschiedene Strahlformer zur Beleuchtung der Maskenebene verwendet werden.
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Masterarbeit
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| Author: | Alexander Kratsch |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-40949 |
| Document Type: | Master's Thesis |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2014/05/30 |
| Publishing Institution: | Hochschule Mittweida |
| Release Date: | 2014/05/30 |
| GND Keyword: | Femtosekundenlaser; Strahlformung |
| Institutes: | 03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik |
| DDC classes: | 530 Physik |
| Open Access: | Frei zugänglich |
| Licence (German): |  Urheberrechtlich geschützt |
