Stephan Marofsky

• Diese Arbeit beschäftigt sich mit einem Prüfverfahren zur Qualitätskontrolle von Draht-bondverbindungen eines Drucksensors. Dabei sollen die Bondverbindungen zerstört werden, die den Qualitätsanforderungen nicht entsprechen können. Hauptaugenmerk liegt auf der Prozessabsicherung der Dünndrahtbondverbindung, bei der das Verfahren der Stickstoffimpulsprüfung ein wesentlicher Bestandteil ist. Diese Prüfung wurde mittels Versuchen und Berechnungen zur Funktionsgrenze analysiert und ausgewertet. In einem Exkurs wird das Bonden auf einem laserdirektstrukturiertem MID getestet und mittels der Stickstoffimpulsprüfung und einem zerstörenden Pulltest analysiert.