OPUS


DOE Methodenmatrix und Prozessmodell im Bereich der Prozessentwicklungs-abteilung eines Bestückungsautomatenherstellers in der Halbleiterindustrie

DOE matrix of methods and process model for Process Development department for placement equipment in the semiconductor industry

  • Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Vorstellung von statistischen Versuchsplänen und deren Einteilung in Vorzugstypen anhand einer Methodenmatrix für die „Process Development“-Gruppe der Besi Austria GmbH. Das Hauptziel ist die Erstellung der Matrix und einer Methodenempfehlung für die ersten Schritte der Dünn-Die Evaluierung anhand des Slider-Tools. Im Weiteren wird auf eine mögliche Prozessintegration zur Implementierung der statistischen Versuchsmethodik verwiesen. Neben der Vorstellung der Grundlagen zur statistischen Versuchsplanung und einzelner statistischer Versuchspläne, wird auf den Die-Bond-Prozess, dem Ausstechprozess im Speziellen bei Dünn-Die Anwendungen und auf das Slider-Tool eingegangen.

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    Diplomarbeit

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Metadaten
Author:Stefan Hübsch
URN:urn:nbn:de:bsz:mit1-opus-47092
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Year of Completion:2013
Release Date:2015/01/14
GND Keyword:Versuchsplanung
Institutes:02 Maschinenbau
Access Rights:Innerhalb der Hochschule
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG

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