OPUS


Untersuchung und Erzeugung ultranano- und nanokristalliner Diamantschichten mittels Laser- Puls-Abscheidung in Wasserstoff- und Sauerstoffatmosphäre

Investigation and growth from ultranano and nanocrystalline diamond films by laser pulsedepostion in hydrogen und oxygen atmosphere

  • Der vorliegende Bericht befasst sich mit der Erzeugung und der Entwicklung von ultranano- bzw. nanokristalliner Diamantschichten mittels Puls-Laser-Abscheidung unter Verwendung der Prozessgase Sauerstoff und Wasserstoff. Der Laserstrahl trifft während des Prozesses auf ein Graphittarget wodurch Kohlenstoffatome ablatiert werden. Ablatierte Ione werden je nach Hybridisierung durch die Prozessgase geätzt oder auf dem Substrat abgeschieden. Die Charakterisierung der erzeugten Schichten erfolgte mittels Oberflächenmorphologie und Raman-Spektren. Damit lassen die abgeschiedenen Kohlenstoffmodifikationen unterscheiden, was zur Eingrenzung des Parameterfensters führt in denen sich ultrananokristalliner Diamantschichten erzeugen lassen. Speziell das Verändern der Kristallitgröße der Diamantpartikel durch die Verwendung eines Filamentes die Benutzung von NCD und MCD Haftschichtenschichten, die Verwendung einer nanokristallinen Diamantsuspension und der Änderung der Teilchendichte soll dadurch beeinflusst werden.

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Metadaten
Author:David Haldan
URN:urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-55128
Document Type:Master's Thesis
Language:German
Year of Completion:2014
Granting Institution:Hochschule Mittweida
Release Date:2015/09/01
GND Keyword:Laserimpuls , Laserbeschichten , Impulslaserbeschichten , Nanostruktur , Diamant , Dünne Schicht
Institutes:03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik
Access Rights:Frei zugänglich
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG

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