OPUS


Laserpulsabscheidung von metallischen Schichtstapeln für spintronische Anwendungen

  • In dieser Arbeit werden die Ergebnisse von grundlegenden Untersuchungen zur Erzeugung von metallischen Schichten und Nanometerschichtstapeln mittels Laserpulsabscheidungsverfahren (PLD) vorgestellt. Für die Erzeugung des schichtbildenden Teilchenstromes durch Ablation der Festkörpertargets wurde ein KrF-Excimerlaser mit einer Wellenlänge von 248 nm verwendet. Durch Variation der Abscheidungsparameter Laserpulsfluenz und Laserstrahlquerschnitt wurden die Oberflächeneigenschaften von dünnen Metallschichten für die Erzeugung von spintronischen Schichtstapeln optimiert. Die Abhängigkeit der materialspezifischen Schichteigenschaften Abtragsrate pro Laserpuls, Schichtaufwachsrate, Oberflächenrauigkeit, Partikulatflächendichte, Schichtdickenverteilung, Schichtdickenhomogenität und Mikrostruktur von den Abscheidungsparametern werden vorgestellt. Unter Nutzung der optimierten Prozessparameter konnten spintronische Metallschichtstapel hergestellt werden. Für die Verbesserung der Schichtdickenhomogenität von laserpulsablatierten Schichten wurde ein xy-Substrat-bewegungssystem konzipiert und dessen technische Realisierung verwirklicht.

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Metadaten
Author:Johannes Maus
Document Type:Master's Thesis
Language:German
Year of Completion:2013
Granting Institution:Hochschule Mittweida
Release Date:2016/01/21
GND Keyword:Metallschicht , Laserimpuls , Abscheidung
Institutes:03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik
Dewey Decimal Classification:671 Metallverarbeitung und Rohprodukte aus Metall
Access Rights:Innerhalb der Hochschule
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG