OPUS


Roboterprüfstand

  • Diese Diplomarbeit wurde in Zusammenarbeit mit der Firma Infineon Technologies Austria AG, Standort Villach, erstellt. Die Hauptkompetenzen in Villach liegen in der Forschung und Entwicklung sowie der Fertigung von Halbleiterlösungen, im speziellen bei Leistungshalbleitern. Außerdem wurden hier die ersten Mikrochips1 auf einem 300mm Dünnwafer2 gefertigt. Die Wafer3 werden innerhalb der Produktion durch Industrieroboter bewegt. Haben diese Defekte bzw. sind Reparaturen nötig, werden sie zum Teil in der firmeninternen Werkstatt getätigt. Danach werden die Industrieroboter direkt wieder in die Linie eingesetzt. Wurden dabei Fehler übersehen, so hatte dies den Stillstand einer Maschine oder im schlimmsten Fall den Ausfall von Wafer zur Folge. Um diesen Ausfall zukünftig zu vermeiden, war es die Aufgabe, einen Roboterprüfstand inkl. der dafür benötigten Sensorik zu entwickeln, in dem die Roboter nach der Reparatur überprüft werden können. Durch diese Überprüfung soll sichergestellt werden, dass es zu keinem Stillstand der Anlagen durch defekte Industrieroboter kommt.

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Metadaten
Author:Thomas Stippich
URN:urn:nbn:de:bsz:mit1-opus4-64105
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Year of Completion:2015
Granting Institution:Hochschule Mittweida
Release Date:2016/05/24
GND Keyword:Industrieroboter; Prüfstand
Institutes:02 Maschinenbau
Access Rights:Frei zugänglich
Licence (German):License LogoEs gilt das UrhG

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