Jana Nissel

• Die vorliegende Bachelorarbeit befasst sich mit der Analyse von laserinduzierten Kavitäten in Silizium. Die Bearbeitung erfolgt mittels einem Faserlaser mit einer Wellenlänge von 1064 nm. Dabei werden modifizierte Bereiche durch Einzel-pulse unter Variation der Pulsenergie, Pulsdauer und Pulsabstand im Inneren von Siliziumproben erzeugt. Untersuchungsziel ist es Schwellwerte zu ermitteln, wo eine Dichteumformung bis hin zur Erzeugung von Kavitäten ohne innerliche und äußerliche Beschädigung des Siliziumwafers stattfindet.