Untersuchungen zur Herstellung rotationssymmetrischer mikrooptischer Bauelemente auf Basis der sequentiellen Maskenprojektion
Studies on the fabrication of rotationally symmetrical micro-optical devices based on sequential mask projection
- In dieser Arbeit wird ein Verfahren auf Basis der sequentiellen Maskenprojektion zur Herstellung von Mikrolinsen mittels Fluorlasermikrostrukturierung vorgestellt. Der verwendete Versuchsaufbau wird beschrieben, getestet und für eine bestmögliche Formgenauigkeit der Mikrostrukturen optimiert. Nachfolgend werden mittels der Simulation des Strukturierungsprozesses und unter Vorgabe eines Sollkrümmungsradius geeignete Parametersätze berechnet. Der Krümmungsradius der entsprechend strukturierten Mikrolinsen kann somit gezielt eingestellt werden.
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| Author: | Eric Syrbe |
|---|---|
| Advisor: | Steffen Weißmantel, Michael Pfeifer |
| Document Type: | Master's Thesis |
| Language: | German |
| Year of Completion: | 2021 |
| Granting Institution: | Hochschule Mittweida |
| Release Date: | 2022/08/08 |
| GND Keyword: | Laserbearbeitung; Optisches Bauelement; Mikrobearbeitung; Laserablation |
| Institutes: | Ingenieurwissenschaften |
| DDC classes: | 671 Laserbearbeitung |
| Open Access: | Frei zugänglich |
| Licence (German): |  Urheberrechtlich geschützt |
