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Untersuchungen zur Laserstrukturierung mittels ultrakurz gepulster Laserstrahlung im Burstmodus mit Variation der Pulsanzahl sowie des zeitlichen Burstpulsabstandes

  • Die Zielstellung dieser Arbeit besteht darin, einen optischen Aufbau zu realisieren, welcher mit möglichst wenigen optischen Komponenten einen einzelnen UKP - Laserpuls in einen 2 - Puls bzw. 4 - Puls Burst (dargestellt in Abbildung 3.1) zerlegt und anfängliche Untersuchungen zum Abtragsverhalten unter Verwendung des Burstmodus durchzuführen. Der zeitliche Burstpulsabstand zwischen jedem dieser Burstpulse soll dabei maximal 2 ns für den 2 - Puls Burst und 1 ns für den 4 - Puls Burst betragen, stufenlos einstellbar und zwischen jedem Burstpuls in einem Burst gleich sein. Das Einstellen der zeitlichen Burstpulsabstände wird für den 2 - Puls bzw. 4 - Puls Burst über unabhängig voneinander arbeitende Translationsachsen realisiert. Mithilfe dieses Aufbaus soll das Abtragsverhalten von UKP - Laserstrahlung eines Ti:Sa - Lasers mit einer Pulsdauer von ca. 150 fs und einer stufenlos regelbaren Pulsenergie von bis zu 1 mJ bei einer Repetitionsrate der Grundfrequenz von 1 kHz und einer mittleren Wellenlänge von 780nm auf Silizium (111) durch die Variation von der zeitlichen Einbringung der Energie untersucht werden.

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Metadaten
Author:Philipp Rebentrost
Advisor:Steffen Weißmantel, Andy Engel
Document Type:Master's Thesis
Language:German
Year of Completion:2021
Granting Institution:Hochschule Mittweida
Release Date:2023/04/20
GND Keyword:Laserbearbeitung; Ultrakurzer Lichtimpuls
Institutes:Ingenieurwissenschaften
DDC classes:671 Laserbearbeitung
Open Access:Innerhalb der Hochschule
Licence (German):License LogoUrheberrechtlich geschützt