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Document Type
Diploma Thesis
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Year of publication
2010
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Language
German (1)
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Keywords
Sputtern
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Author
Nerger, Silvio (1)
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Institute
03 Mathematik / Naturwissenschaften / Informatik
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Ermittlung und Optimierung von elektrischen, geometrischen und technologischen Parametern der ION´X Planar Magnetron Sputtering Cathode IX5 91xx in der Laborzerstäubungsanlage MSBA-400 für Aluminium, Silizium und Siliziumdioxid
(2010)
Nerger, Silvio
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