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Ziel dieser Arbeit ist es, ein Verfahren zur Abscheidung einer Metalloxidschicht zu entwickeln. Dadurch soll ein bestehendes Schichtsystem hinsichtlich seiner chemischen Belastbarkeit und besonders seiner Korrosionsbeständigkeit eine Verbesserung erfahren. Besonderes Augenmerk wird in dieser Arbeit darauf gelegt, dass die Abscheidung aus der Dampfphase bzw. unter Verwendung eines Sauerstoffplasmas erfolgen soll und der Anspruch als umweltfreundliches Verfahren erfüllt wird. Unter Berücksichtigung dieser Tatsachen wird zunächst das bestehende Schichtsystem analysiert. Danach werden Abscheidungsmöglichkeiten einer Metalloxidschicht aufgezeigt. Zum Schluss erfolgt die Beschreibung und Auswertung der Abscheidungsmethoden.