Der vorliegende Bericht befasst sich mit den Grundlagen einer neuen Möglichkeit der Kantenisolation, einem wichtigen Schritt in der Herstellung von Solarzellen. Dabei sollen dünne Spuren, bestehend aus einer Ätzpaste, mit Hilfe eines Dispenser auf Solarwafer aufgetragen und mittels Laser aktiviert werden.Hauptziel ist es die Optimierung der Laserparameter für die Kantenisolation von Solarwafern. Des Weiteren sollen die Auswirkungen dieser Methode auf die Solarzellenparameter überprüft werden sowie die Möglichkeit des Abtrages der Reaktionsprodukte mittels CO2-Laser ohne den Solarwafer dabei zu beschädigen.
Der vorliegende Bericht befasst sich mit der Erzeugung und der Entwicklung von ultranano- bzw. nanokristalliner Diamantschichten mittels Puls-Laser-Abscheidung unter Verwendung der Prozessgase Sauerstoff und Wasserstoff. Der Laserstrahl trifft während des Prozesses auf ein Graphittarget wodurch Kohlenstoffatome ablatiert werden. Ablatierte Ione werden je nach Hybridisierung durch die Prozessgase geätzt oder auf dem Substrat abgeschieden. Die Charakterisierung der erzeugten Schichten erfolgte mittels Oberflächenmorphologie und Raman-Spektren. Damit lassen die abgeschiedenen Kohlenstoffmodifikationen
unterscheiden, was zur Eingrenzung des Parameterfensters führt in denen sich ultrananokristalliner Diamantschichten erzeugen lassen. Speziell das Verändern
der Kristallitgröße der Diamantpartikel durch die Verwendung eines Filamentes
die Benutzung von NCD und MCD Haftschichtenschichten, die Verwendung einer
nanokristallinen Diamantsuspension und der Änderung der Teilchendichte soll dadurch
beeinflusst werden.