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Document Type
- Bachelor Thesis (1)
Year of publication
- 2021 (1)
Language
- German (1)
Keywords
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Es werden theoretische Grundlagen zur Laserpulsabscheidung und der eingesetzten Anlagentechnik, sowie Auswertungsverfahren kurz erläutert. Die Tantalhaftschichten werden mittels Ionengestützter Laserpulsabscheidung hergestellt und über Haftfestigkeitsprüfverfahren miteinander verglichen. Vergleichend wird ein CrSi2-SiC-WC-Haftschichtsystems dem gegenübergestellt. Im gleichen Zuge erfolgen Untersuchungen zur Realisierung einer homogenen Schichtabscheidung.