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Im Rahmen der Diplomarbeit wurden Grundlagenuntersuchungen zur Lasermikrobearbeitung des Kunststoffs TOPAS, des Borosilikatglases D 263 T und des Werkzeugstahls der Werkststoffnummer 1.2365 durchgeführt, um deren prinzipielle Bearbeitbarkeit mittels KrF-Excimerlaser zu bestimmen. Desweiteren wurden Versuche zur Erzeugung von Gitterstrukturen in Tantalfolie und Edelstahlfolie der Werkstoffnummer 1.4301 unternommen. Ziel dieser Versuche war vorrangig die Erzeugung kleinstmöglicher Stegbreiten.