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- Bachelor Thesis (1)
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Keywords
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Die vorliegende Bachelorarbeit befasst sich mit der Analyse von laserinduzierten
Kavitäten in Silizium. Die Bearbeitung erfolgt mittels einem Faserlaser mit einer
Wellenlänge von 1064 nm. Dabei werden modifizierte Bereiche durch Einzel-pulse unter Variation der Pulsenergie, Pulsdauer und Pulsabstand im Inneren
von Siliziumproben erzeugt. Untersuchungsziel ist es Schwellwerte zu ermitteln,
wo eine Dichteumformung bis hin zur Erzeugung von Kavitäten ohne innerliche
und äußerliche Beschädigung des Siliziumwafers stattfindet.