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An der TU Chemnitz werden seit einigen Jahren mikromechanische Drehratesensoren entwickelt. Bisher bestand die Aufgabe weitgehend nur in der Technologieentwicklung für Partnerfirmen. Ziel dieser Diplomarbeit ist die Entwicklung eines neuartigen in der Waferebene messenden Drehratesensors, welcher mit hoher Genauigkeit arbeitet. Zur Durchführung gehört um einen die Modellierung und Simulation der Sensorstruktur mit Hilfe des finiten Elemente Programms ANSYS und den Maskenentwurf mit Hilfe von Layout Editor, und zum anderen die technologische Prozessierung und Bewertung.