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Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der schichtdickenabhängigen relativen Bauteildichte im Lasermikrosintern. Dazu werden der aktuelle Forschungsstand und Verfahren zur Bestimmung der Dichte aufgezeigt. In den praktischen Untersuchungen erfolgt die Ermittlung und Überprüfung geeigneter Prozessparameter, wobei hier, neben der Schichtdicke, vor allem die Volumenenergiedichte und die Pulswiederholfrequenz im Fokus stehen. Intensiver diskutiert wird dabei die Entstehung von Baufehlern und Poren.
Diese Arbeit beinhaltet eine detaillierte Dokumentation für eine Simulation zum Ermitteln der Schichtddickenverteilung von mittels PLD hergestellten Kohlenstoffschichten. Des Weiteren wurden im Ramen dieser Arbeit Versuche zum Herstellen von ta-C-Schichten bei rotierendem Substrat durchgeführt und dabei speziell der Einfluss von mit der Rotationsgeschwindigkeit verbundenen Subplantationseffekten untersucht.