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Die Kohärenztomographie im eXtremem Ultraviolettbereich (XCT) ist eine neue Methode zur 3D-Vermessung von Nanostrukturen mit Nanometer-Auflösung. Sie verwendet das interferometrische Prinzip der optischen Kohärenztomographie
(OCT) um mittels Fourier-Transformation Strukturinformationen zu extrahieren. Ein speziell entwickelter Phasenrekonstruktionsalgorithmus (PR-XCT) ermöglicht artefaktfreie XCT. Experimentell wurden axiale Auflösungen von 24 nm erreicht, laterale Auflösungen von etwa 23 μm und hohe Materialempfindlichkeit. Der PR-XCT-Algorithmus erlaubt quantitative Informationen und markierungsfreie Identifizierung vergrabener Strukturen im Nanometerbereich. Optimierung der Modellparameter ermöglicht zusätzliche Erkenntnisse über Oberflächenrauhigkeit und Schichtdicken.
Technische Sauberkeit in der Automobilindustrie – Produktionsbereich : „Umspritzen von Bauteilen“
(2015)
Die Arbeit ist in 3 Kapitel aufgeteilt, welche mit einer kurzen Einleitung beginnt. Hierin werden vorwiegend die Problemstellung, die Zielsetzung sowie das folgende methodische Vorgehen beschrieben. Im Weiteren werden einige wichtige Begriffe, als auch normierte Verfahren näher erläutert, um einen fachlichen Gesamtüberblick zu erhalten. Es wird dann über einige näher erwähnten systematischen Methoden, die eingeleiteten Maßnahmen skizziert. Der Schluss beinhaltet noch einmal detailliert das Ergebnis sowie die daraus abgeleiteten Maßnahmen als auch Konsequenzen.
