Silvio Fuchs, Johannes J. Abel, Felix Wiesner, Martin Wünsche, Julius Reinhard, Gerhard G. Paulus

• Die Kohärenztomographie im eXtremem Ultraviolettbereich (XCT) ist eine neue Methode zur 3D-Vermessung von Nanostrukturen mit Nanometer-Auflösung. Sie verwendet das interferometrische Prinzip der optischen Kohärenztomographie (OCT) um mittels Fourier-Transformation Strukturinformationen zu extrahieren. Ein speziell entwickelter Phasenrekonstruktionsalgorithmus (PR-XCT) ermöglicht artefaktfreie XCT. Experimentell wurden axiale Auflösungen von 24 nm erreicht, laterale Auflösungen von etwa 23 μm und hohe Materialempfindlichkeit. Der PR-XCT-Algorithmus erlaubt quantitative Informationen und markierungsfreie Identifizierung vergrabener Strukturen im Nanometerbereich. Optimierung der Modellparameter ermöglicht zusätzliche Erkenntnisse über Oberflächenrauhigkeit und Schichtdicken.
• Coherence tomography in the eXtreme ultraviolet (XCT) range is a new method for 3D measurement of nanostructures with nanoscale resolution. It uses the interferometric principle of optical coherence tomography (OCT) to extract structural information by Fourier transform. A specially developed phase reconstruction algorithm (PR-XCT) enables artifact-free XCT. Axial resolutions of 24 nm, lateral resolutions of about 23 μm, and high material sensitivity have been experimentally demonstrated. The PR-XCT algorithm allows quantitative information and label-free identification of buried structures in the nanometer range. Optimization of model parameters provides additional insight into surface roughness and layer thicknesses.