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- Bachelor Thesis (1)
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Keywords
- Femtosekundenlaser (1)
- Kohlendioxidlaser (1)
- Strahlformung (1)
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In dieser Arbeit wird untersucht, inwiefern die Strahlformung von Femtosekundenlaserstrahlung im Zusammenhang mit der Maskenprojektion möglich ist. Es werden die etablierten Strahlformer anhand einheitlicher Kriterien untersucht und bewertet. Zusätzlich werden erste Abtragsversuche durchgeführt, bei denen verschiedene Strahlformer zur Beleuchtung der Maskenebene verwendet werden.
In der vorliegenden Arbeit wird untersucht, inwiefern eine Glättung einer mikrostrukturierten Quarzglasoberfläche durch die Verwendung von Laserstrahlung möglich ist. Es werden generelle Umsetzbarkeit, Grenzen des Verfahrens und die optimalen Parameter diskutiert. Das Ziel der Untersuchungen ist die Beseitigung der Bearbeitungsspuren, welche bei der Herstellung von diffraktiven optischen Elementen mittels Lasermikrostrukturierung entstehen