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In der vorliegenden Arbeit wird untersucht, inwiefern eine Glättung einer mikrostrukturierten Quarzglasoberfläche durch die Verwendung von Laserstrahlung möglich ist. Es werden generelle Umsetzbarkeit, Grenzen des Verfahrens und die optimalen Parameter diskutiert. Das Ziel der Untersuchungen ist die Beseitigung der Bearbeitungsspuren, welche bei der Herstellung von diffraktiven optischen Elementen mittels Lasermikrostrukturierung entstehen