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- Versuchsplanung (1)
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Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Vorstellung von statistischen Versuchsplänen und deren Einteilung in Vorzugstypen anhand einer Methodenmatrix für die „Process Development“-Gruppe der Besi Austria GmbH. Das Hauptziel ist die Erstellung der Matrix und einer Methodenempfehlung für die ersten Schritte der Dünn-Die Evaluierung anhand des Slider-Tools. Im Weiteren wird auf eine mögliche Prozessintegration zur Implementierung der statistischen Versuchsmethodik verwiesen. Neben der Vorstellung der Grundlagen zur statistischen Versuchsplanung und einzelner statistischer Versuchspläne, wird auf den Die-Bond-Prozess, dem Ausstechprozess im Speziellen bei Dünn-Die Anwendungen und auf das Slider-Tool eingegangen.